2024年6月3日下午3点，由华中科技大学集成电路学院主办的“喻园·育芯”讲坛第71期在光电信息大楼C112成功举行。本次讲坛邀请了清华大学精密仪器系阮勇研究员进行报告，题目为《体硅MEMS标准工艺典型器件与先进集成微系统》。学院多名教授、研究员及研究生积极参与了此次学术交流活动。会前，学院党委书记刘红军与院长缪向水为阮勇研究员颁发了邀请函证书。
阮勇研究员在报告中首先强调了芯片产业竞争的核心在于人才与技术的结合。他结合自身在微米纳米工艺与器件技术方面的丰富经验，深入分析了MEMS技术的重要性及其在集成微系统中的应用前景。并且介绍了目前国内外在MEMS工艺和器件方面的最新研究成果与发展趋势，分享了团队在先进平台与典型器件开发方面的创新工作。他详细展示了其团队在MEMS体硅、表面标准工艺与智能微系统技术方面的突破，阐述了其在硅基MEMS体硅、压阻和压电成套工艺及典型器件方面的研究进展及应用案例。
在报告的最后，阮勇研究员还就微系统与集成技术进行了探讨，展示了先进集成微系统在不同领域的应用成果，并分享了团队在技术服务方面的成功案例。他指出，通过不断提升工艺和先进工艺平台，可以显著推动MEMS器件及微系统的广泛应用和产业化。
本次讲坛为与会者提供了一个宝贵的学术交流平台，带来了最新的研究动态和前沿技术。阮勇研究员与在场的教师和学生分享了他的科研经验和见解，激发了学术思想的碰撞与交流，为今后相关领域的研究与合作奠定了坚实基础。
