1960年，成立无线电电子学系，包括无线电器件与材料和半导体元件与材料等专业。9月，学校撤消无线电电子学系，分别设立无线电工程系和自动控制与工程数学系。

1961年，学校进行第一次专业调整，取消半导体元件与材料专业，其师资合并到无线电器件与材料专业。

1962年，无线电工程系和自动控制及工程数学系合并为无线电工程与自动控制系，包含设无线电技术专业、无线电材料与元件专业、电真空器件专业、自动控制专业。

1966年，无线电工程与自动控制系更名为无线电工程系，包括无线电技术专业、无线电材料与元件专业、电真空器件专业。

1968年，无线电材料与元件专业分为三个专业，即绝缘材料与电阻电容专业、磁性材料与器件专业、半导体材料与器件专业。

1970年，校硅元件厂并入无线电工程系，在硅元件厂内附设可控硅及其装置专业。

1972年，无线电工程系分编为无线电工程一系和无线电工程二系，无线电工程二系下设无线电元件与材料教研组、半导体器件与材料教研组、电真空器件与材料教研组、磁性材料与器件教研组，校硅元件厂并入无线电工程二系。

1974年，为加速微电子学专业的建设，学校研究决定，成立微电子研究室，由无线电工程二系领导。

1975年，学校研究决定，无线电工程一系改名为电子工程一系，无线电工程二系改名为电子工程二系，同时成立电子工程三系，半导体器件与材料教研组从电子工程二系划属到电子工程三系。

1977年，学校决定，将电子工程一系与电子工程三系合并，合并后的名称为电子工程一系，原电子工程一系的半导体材料与器件专业调归到电子工程二系。

1978年，半导体材料与器件专业和可控硅及其装置专业合并为半导体物理与器件专业。

1978年，学校决定，在电子工程二系设立固体物理教研室。

1979年，电真空专业取消，其师资大部分调光学系和电子工程系。

1980年，电子工程二系更名为固体电子学系。

1983年，学校决定撤消固体电子学系，成立物理和固体电子学系，电介质材料与器件专业、半导体物理专业、磁性材料与器件专业和物理教研室属物理和固体电子学系领导。10月，物理和固体电子学系更名为物理系。

1984年，学校将原物理系撤消，分别成立物理系和固体电子学系。

1993年，根据国家教委的要求，学校将原电子材料与元器件专业和磁性物理与器件专业合并为电子材料与元器件专业，半导体物理与器件专业更名为微电子技术专业。

1998年，“固体电子学系”更名为“电子科学与技术系”。

2001年，“教育部敏感陶瓷工程研究中心”建立。

2003年，教育部、科技部批准华中科技大学建设“国家集成电路人才培养基地”。

2007年，教育部人才培养模式创新试验区—面向群体创新人才互动式培养试验区正式挂牌。

2015年，教育部、发改委、科技部、工信部、财政部、外专局等6部门批准我校筹建国家示范性微电子学院。

2015年，东湖国家自主创新示范区和我校举行共建武汉国际微电子学院揭牌暨双方共建签约仪式。

2019年，“集成电路设计与集成系统”专业获批国家级一流本科专业。

2020年，“电子科学与技术”专业获批国家级一流本科专业。

2021年5月，获批建设国家集成电路产教融合创新平台。

2021年7月，集成电路学院成立。

2021年10月，获批“集成电路科学与工程”一级交叉学科博士学位授予权。

2021年11月，“微电子科学与工程”专业获批国家级一流本科专业。