2023年12月22日，西安电子科技大学大学廖敏教授做客我校“喻园·育芯”讲坛第53期，为我校学子带来题为《氧化铪基铁电薄膜及其存储器》的科技前沿报告。本次讲坛在光电信息大楼C837会议室顺利举行，由我校集成电路学院姜胜林教授主持。

大数据、物联网和人工智能的快速发展对存储芯片、逻辑芯片和其他电子元器件的性能提出了越来越高的要求。氧化铪基铁电薄膜具有与大规模集成电路工艺线兼容、可微型化潜力大等优点，为我国实现铁电存储器的自主可控提供了机会，同时也有望引领铁电存储器突破生产成本高、容量小的瓶颈。如何稳定氧化给铁电亚稳相是实现氧化铪基铁电薄膜可控制备的前提，而唤醒效应、疲劳失效、性能不均一是阻碍氧化铪基铁电薄膜在存储器中应用的难题。在本次论坛中，廖教授向大家介绍了课题组近几年在铁电薄膜及存储器的研究历程，并介绍氧化铪薄膜的调控机理和单元器件、存储器芯片全链条研制方面的研究进展。

在互动交流环节，廖教授分享了氧化铪薄膜畴结构以及相结构的调控原理以及后端集成和后栅极工艺技术中的关键点，与大家进行了深入的问题探讨。通过此次讲坛，同学们对氧化铪薄膜及其存储器有了深入了解，纷纷表示获益匪浅。